著錄信息
- 專利名稱：半導(dǎo)體硅片液態(tài)源擴(kuò)散爐
- 專利類型：發(fā)明
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN200610030727.X
- 公開(公告)號(hào)：CN101136325B
- 申請(qǐng)日：20060831
- 公開(公告)日：20100512
- 申請(qǐng)人：上海航天汽車機(jī)電股份有限公司,上海太陽能科技有限公司
- 發(fā)明人：符育剛,袁曉,李紅波
- 申請(qǐng)人地址：201206 上海市浦東新區(qū)榕橋路661號(hào)
- 申請(qǐng)人區(qū)域代碼：CN310115
- 專利權(quán)人：上海航天汽車機(jī)電股份有限公司,上海太陽能科技有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：H01L21/22,H01L21/00
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：上海航天局專利中心 31107
- 代理人：張緒成
- 審查員：高鶯然
- 國(guó)際申請(qǐng)：無
- 國(guó)際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國(guó)家日期：無
- 分案申請(qǐng)：無
關(guān)鍵詞
石英管,擴(kuò)散爐管,擴(kuò)散爐,半導(dǎo)體硅片,開放式結(jié)構(gòu),擴(kuò)散,孔徑大小,擴(kuò)散源,液態(tài)源,管壁,爐管,毛細(xì),內(nèi)壁,源瓶,連接,出口
網(wǎng)站提醒和聲明
免責(zé)聲明：
本站為會(huì)員提供信息存儲(chǔ)空間服務(wù)，由于更新時(shí)間等問題，可能存在信息偏差的情況，具體請(qǐng)以品牌企業(yè)官網(wǎng)信息為準(zhǔn)。如有侵權(quán)、錯(cuò)誤信息或任何問題，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們，我們將在第一時(shí)間刪除或更正。
版權(quán)聲明>>
修改>>
申請(qǐng)刪除>>
網(wǎng)頁上相關(guān)信息的知識(shí)產(chǎn)權(quán)歸網(wǎng)站方所有(包括但不限于文字、圖片、圖表、著作權(quán)、商標(biāo)權(quán)、為用戶提供的商業(yè)信息等)，非經(jīng)許可不得抄襲或使用。本站不生產(chǎn)產(chǎn)品、不提供產(chǎn)品銷售服務(wù)、不代理、不招商、不提供中介服務(wù)。本頁面內(nèi)容不代表本站支持投資購買的觀點(diǎn)或意見，頁面信息僅供參考和借鑒。
提交說明：
快速提交發(fā)布>>
查看提交幫助>>
注冊(cè)登錄>>
