一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是電子信息工業(yè)領(lǐng)域的關(guān)鍵材料之一。氧化銦錫（英文全稱為Indium Tin Oxide，簡(jiǎn)稱“ITO”），由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后，經(jīng)過(guò)一系列的生產(chǎn)工藝加工成型，再高溫?zé)Y(jié)形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體材料。薄薄的氧化銦錫在可見(jiàn)光范圍內(nèi)呈現(xiàn)透明狀。不過(guò)在紅外光線下，氧化銦錫層起著不透明的作用，反射紅外線。

氧化銦錫作為一種n型半導(dǎo)體材料，具有高的導(dǎo)電率、優(yōu)異的可見(jiàn)光透過(guò)率、較強(qiáng)的機(jī)械硬度和良好的化學(xué)穩(wěn)定性，主要用于制作液晶顯示器、平板顯示器、等離子顯示器、觸摸屏、電子紙、有機(jī)發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池、抗靜電鍍膜、EMI屏蔽的透明傳導(dǎo)鍍、各種光學(xué)鍍膜等。

ITO靶材是濺射靶材中的一種，主要通過(guò)磁控濺射將ITO靶材氣化，濺鍍到玻璃基板或柔性有機(jī)薄膜上，制造成ITO薄膜，后者為透明導(dǎo)電氧化物薄膜，厚度一般為30-200納米。

二、ITO靶材應(yīng)用領(lǐng)域

1、平板顯示器（純度5N）

在平板顯示領(lǐng)域，ITO靶材主要用于制作ITO導(dǎo)電玻璃及觸控屏電極平板，是LCD、PDP、OLED、觸摸屏等各類平板顯示器件制備的核心材料。顯示面板一般涉及上下兩層ITO導(dǎo)電膜，用量較大，ITO靶材是平板顯示領(lǐng)域用量最大的靶材之一。

ITO導(dǎo)電膜玻璃按電阻分為：高電阻玻璃（電阻范圍在150~500歐姆）、普通玻璃（電阻范圍在60~150歐姆）、低電阻玻璃（電阻范圍小于60歐姆）。其中高電阻玻璃一般用于靜電防護(hù)、觸控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一般用于STN、TFT液晶顯示器和透明線路板。

LCD面板組件總厚度不到1公分，內(nèi)部包含20多項(xiàng)材料及元件。不同類型LCD所需材料不盡相同，但基本結(jié)構(gòu)類似，即在ITO導(dǎo)電膜玻璃內(nèi)夾著彩色濾光片、偏光板、配向膜等材料，灌入液晶材料，后封裝成一個(gè)液晶盒。因此，ITO導(dǎo)電膜玻璃作為L(zhǎng)CD面板的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，約占LCD面板材料成本的30%，而ITO靶材約占導(dǎo)電玻璃成本的20%。

2、薄膜太陽(yáng)能電池（純度4N）

ITO是一種透明導(dǎo)電層，在太陽(yáng)能電池中作為透光層，同時(shí)作為電極，一般為正極，另一個(gè)電極一般以金屬銀或鋁作為背電極使用。ITO靶材主要用于生成太陽(yáng)能薄膜電池的背電極，主要需求為方形板狀靶材。

3、保溫透光領(lǐng)域

ITO透明導(dǎo)電膜玻璃作為面發(fā)熱體，通電后可以除冰霜，用于飛機(jī)擋風(fēng)玻璃、飛機(jī)眩窗、激光測(cè)距儀、潛望鏡觀察窗等，多年來(lái)已得到了廣泛的應(yīng)用。ITO透明導(dǎo)電膜玻璃正反面具有相反的紅外線通過(guò)及反射性能，玻璃正面具有優(yōu)良的紅外線通過(guò)性，衰減量極小，而反面又具有紅外線阻擋反射作用，因而該種玻璃具有優(yōu)良的保溫透光性能，已大量用于制造冷藏柜，隨著成本的降低將有望用于房屋節(jié)能。