一、電化學(xué)原理
利用氣體在電化學(xué)傳感器上發(fā)生氧化還原反應(yīng),從而產(chǎn)生電流。在傳感器內(nèi)部,有兩個(gè)電極,分別為工作電極和對(duì)電極,中間通過(guò)電解質(zhì)隔開。當(dāng)臭氧氣體進(jìn)入傳感器后,在工作電極上發(fā)生氧化反應(yīng),失去電子,而在對(duì)電極上發(fā)生還原反應(yīng),得到電子,從而形成電流。電流的大小與臭氧的濃度成正比關(guān)系,通過(guò)測(cè)量電流的大小就可以得出臭氧的濃度。這種原理的臭氧檢測(cè)儀具有精度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn),常用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域。
二、紫外吸收原理
臭氧對(duì)紫外線具有強(qiáng)烈的吸收特性,其吸收程度符合朗伯 - 比爾定律。當(dāng)紫外線通過(guò)含有臭氧的氣體時(shí),部分紫外線被臭氧吸收,通過(guò)測(cè)量紫外線被吸收后的強(qiáng)度變化,就可以計(jì)算出臭氧的濃度?;谠撛淼某粞鯔z測(cè)儀通常采用紫外光源和光電探測(cè)器,具有測(cè)量范圍寬、精度高、不受其他氣體干擾等優(yōu)點(diǎn),常用于大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、空氣質(zhì)量檢測(cè)等領(lǐng)域。

三、半導(dǎo)體原理
利用半導(dǎo)體材料對(duì)臭氧氣體的吸附和反應(yīng)特性來(lái)檢測(cè)臭氧濃度。半導(dǎo)體傳感器通常由金屬氧化物半導(dǎo)體材料制成,如二氧化鈦、氧化鋅等。當(dāng)臭氧氣體吸附在半導(dǎo)體材料表面時(shí),會(huì)與材料表面的氧離子發(fā)生反應(yīng),導(dǎo)致半導(dǎo)體材料的電阻發(fā)生變化。通過(guò)測(cè)量電阻的變化來(lái)間接測(cè)量臭氧的濃度。這種原理的臭氧檢測(cè)儀具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、體積小等優(yōu)點(diǎn),但精度相對(duì)較低,易受其他氣體干擾。
四、化學(xué)發(fā)光原理
某些化合物與臭氧發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生發(fā)光現(xiàn)象,發(fā)光強(qiáng)度與臭氧濃度成正比。通過(guò)檢測(cè)發(fā)光強(qiáng)度來(lái)確定臭氧的濃度。這種方法具有靈敏度高、選擇性好等優(yōu)點(diǎn),但儀器結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜,常用于科研和高精度檢測(cè)領(lǐng)域。